U22系列(liè)單級減壓器适(shi)用于高純氣體(tǐ)、非腐蝕性氣體(tǐ)、腐蝕💋性氣體⭐和(hé)有毒氣體。膜片(piàn)和閥體的密封(feng)
采用了硬密封(fēng)
的設計，降低洩(xie)漏率，同時提高(gāo)了安全性和使(shǐ)用壽🚶命🌈。
結構特(tè)點
316L不鏽鋼母體(ti)
膜片式硬密封(feng)，洩漏率低
可采(cǎi)用面闆安裝和(he)後座安裝
壓力(lì)表标準連接：1/4" FRS(M), 可(kě)選1/4" FRS(F)
内部電解抛(pao)光
高潔淨的組(zǔ)裝和包裝适用(yong)于高潔淨度的(de)半導體行業
使(shǐ)用壽命長
100%氦氣(qi)測試
材質
母體(tǐ)：316L
閥座：PCTFE, Vespel®
膜片：316L
上蓋(gài)：316
功能特性
流量(liàng)：Cv=1.1
母體洩漏率：2×10
-8 atm cc/sec He
閥(fá)座洩漏率：4×10
-8 atm cc/sec He
設計(ji)驗證壓力：最大(dà)額定壓力的150%
設(she)計爆破壓力：最(zuì)大額定壓力的(de)400%
工作條件
最大(dà)的入口壓力：500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar)
出(chu)口壓力：0~25 psi (1.7 bar),0~50 psi (3bar), 0~100 psi (7 bar),0~250 psi (17 bar)
溫度：-40℃~74℃ (-40°F~165°F)
流(liú)道表面
标準：Ra 20µin
可(ke)選：Ra 10µin
内部容積：22.6cc
